• 특훈교수 자성재료
• 서수정
• 2022 특훈교수

• suhsj@skku.edu
• 제1종합연구동 4층 81415호실

[관심분야]

Through silicon via (TSV)를 이용한 3D 패키징 기술 Magnetic powder를 사용하여 자성유체 제조 Complex anodizing (AAO) 공법을 사용한 Al 커패시터 연구 전해, 무전해 도금 기술의 응용 연구 Metal 와이어를 이용한 top down method 액중 전기 폭발법

• 특훈교수 플라즈마, Graphene, 2차원 나노소재
• 염근영
  Lab 반도체공정연구실
• 2022 특훈교수

• gyyeom@skku.edu

[관심분야]

대면적 플라즈마 기술 중성빔 및 원자층 식각기술 STT-MRAM 물질의 선택적 식각기술 HARC etching 공정기술 차세대 EUV resist mask 건식 현상기술 2-D 물질 식각기술 VHF 플라즈마 원자층 증착기술